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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設(shè)備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實(shí)現(xiàn)自動控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。

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直拉法，也叫切克勞斯基（J.Czochralski）方法。此法早在1917年由切克勞斯基建立的一種晶體生長方法，用直拉法生長單晶的設(shè)備和工藝比較簡單，容易實(shí)現(xiàn)自動控制，生產(chǎn)，易于制備大直徑單晶，容易控制單晶中雜質(zhì)濃度，可以制備低電阻率單晶。據(jù)統(tǒng)計(jì)，世界上硅單晶的產(chǎn)量中70%～80%是用直拉法生產(chǎn)的。江南電力光伏科技有限，引進(jìn)消化吸收國外技術(shù)研發(fā)環(huán)保清潔可再生新能源產(chǎn)品——太陽能光伏發(fā)電站和風(fēng)力發(fā)電站的相關(guān)設(shè)備。其中硅單晶生長爐設(shè)備有兩大系列三個(gè)品種，具有自主知識產(chǎn)權(quán)。生產(chǎn)的單晶硅生長爐（TDR85/95/105-JN）單晶硅生長爐（TDR85/95/105-JN）DR—JN系列全自動晶體生長爐具有自主知識產(chǎn)權(quán)，是采用直拉法生長P型或N型單晶硅材料的設(shè)備。裝料量從95Kg～150Kg，可拉制6"～12"電路級和太陽能級單晶硅棒。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，計(jì)長輸入小板作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測)7.觸發(fā)放大板(兩塊)作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測)8.PLC作用原理以及類型輸入輸出(好壞如何檢測)9.歐陸表的型號原理,以及一般調(diào)節(jié)方式和輸入輸出(好壞如何檢測10.電壓表,電流表,數(shù)顯表原理作用,數(shù)量輸入輸出(好壞如何檢測)11.真空計(jì)類型,原理作用以及輸入輸出(好壞如何檢測)12.堝跟比如何調(diào)節(jié)13.手操合的作用輸入輸出(好壞如何檢測)14.D/A板作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測)15.計(jì)算機(jī)的作用原理,操作以及調(diào)節(jié)方16.電源的原理型號以及作用,輸入輸出(好壞如何檢測)17.絲相關(guān)作用18.相關(guān)電位器的型號作用