工業(yè)氦氣檢測(cè)是指對(duì)工業(yè)環(huán)境中使用的氦氣（He）進(jìn)行濃度、純度、泄漏等方面的檢測(cè)，以確保其安全使用和滿足工藝要求。氦氣是一種無色、無味、不可燃的惰性氣體，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、焊接、醫(yī)療、科研、航空航天等領(lǐng)域。 以下是關(guān)于 工業(yè)氦氣檢測(cè) 的一些關(guān)鍵內(nèi)容： 一、工業(yè)氦氣檢測(cè)的主要目的

1. 確保安全性 ：氦氣雖然，但在高濃度下導(dǎo)致窒息。

2. 2. 產(chǎn)品質(zhì)量 ：在半導(dǎo)體、真空系統(tǒng)等應(yīng)用中，氦氣的純度直接影響產(chǎn)品性能。

3. 3. 防止泄漏 ：氦氣分子小，容易從管道或設(shè)備中泄漏，需定期檢測(cè)。

4. 4. 符合環(huán)保與法規(guī)要求 ：某些行業(yè)對(duì)氣體排放有嚴(yán)格規(guī)定。 二、常見的檢測(cè)項(xiàng)目 | 檢測(cè)項(xiàng)目 | 說明 | | | | | 氦氣濃度檢測(cè) | 使用氣體檢測(cè)儀測(cè)量空氣中氦氣的體積濃度，判斷是否達(dá)到危險(xiǎn)閾值。 | | 氦氣純度檢測(cè) | 通過氣相色譜法（GC）、質(zhì)譜分析（MS）等方法檢測(cè)氦氣中的雜質(zhì)含量。 | | 泄漏檢測(cè) | 使用氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Leak Detector）檢測(cè)系統(tǒng)或設(shè)備是否存在泄漏。 | | 壓力/溫度檢測(cè) | 監(jiān)控儲(chǔ)罐或輸送管道的壓力和溫度變化，預(yù)防事故。 | 三、常用的檢測(cè)方法與儀器

5. 1. 氣體檢測(cè)儀 電化學(xué)傳感器 ：用于檢測(cè)低濃度氦氣，但靈敏度較低。 催化燃燒式傳感器 ：不適用于氦氣檢測(cè)。 紅外線傳感器 ：部分可檢測(cè)氦氣，但應(yīng)用較少。 激光吸收光譜（TDLAS） ：、非接觸式檢測(cè)，適用于在線監(jiān)測(cè)。

6. 2. 氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Leak Detector） 原理：利用氦氣分子在真空環(huán)境下被離子化后檢測(cè)其信號(hào)。 應(yīng)用：常用于檢測(cè)真空系統(tǒng)、管道、閥門、密封件等的泄漏。 優(yōu)點(diǎn)：靈敏度高（可檢測(cè)10?1? mbar·L/s級(jí)別的泄漏）。

7. 3. 氣相色譜儀（GC） 用于分析氦氣中的雜質(zhì)（如氮?dú)?、氧氣、氫氣等），評(píng)估其純度。 可配合質(zhì)譜（GC MS）進(jìn)一步鑒定成分。