ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵MS120A 真空泵(低?中真空) 平山貿易有售
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MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

特點
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC特設計的轉子軸，實現的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
規(guī)格
型式 MS120A MS600A MS1200A
大排氣速度 *1 m3/h 115 560 980
到達壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1
電源電壓 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1
冷卻水量 L/min >4.0
Purge gas量 *1 SLM 0~50
大水蒸氣處理量 *1*3 kg/h 1.5
噪音值　*1 dB(A) 61 62 64
吸氣口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100
排氣口 KF40
質量 *4 kg 139 241 264
適用規(guī)格 CE、cTUVus
標準附屬品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件 Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM
外部選配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve
*1：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer