X熒光光譜儀優(yōu)點：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘*可以測完樣品中的全部待測元素；
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定；
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好；
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析；
5、分析精密度高；
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān)，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：
λ=K(Z? s) ?2
式中K和S是常數(shù)。
而根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：
E=hν=h C/λ
式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數(shù)；ν為光波的頻率；C為光速。
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進行元素定量分析。

臺式x熒光光譜儀是研究物與蛋白質(zhì)相互作用的常用儀器。物與蛋白質(zhì)相互作用后可能引起物自身熒光光譜和蛋白質(zhì)自身熒光(內(nèi)源熒光)光譜以及同步熒光光譜的變化，如熒光強度和偏振度的改變出現(xiàn)等，這些均可以提供物與蛋白質(zhì)結(jié)合的信息。 臺式x熒光光譜儀對于一種未知發(fā)光性能的熒光粉來說，測試發(fā)射譜時，通常利用氙燈的強254nm發(fā)射來激發(fā)樣品。這時激發(fā)單色器就從氙燈發(fā)射出來的復(fù)合光中分出254nm的紫外光。該紫外光照射到熒光粉上，有可能激發(fā)熒光粉使其發(fā)射某種顏色的光。熒光粉發(fā)射的混合波長的光被發(fā)射單色器以單色光的形式一一鑒別釋放，同時利用PMT記錄相應(yīng)的強度。
臺式x熒光光譜儀技術(shù)已成功應(yīng)用于環(huán)境、食物鏈、動植物、農(nóng)產(chǎn)品、人體組織細(xì)胞及、生物材料、組織細(xì)胞、試劑、動植物、代謝產(chǎn)物中的無機元素測定。目前XRF分析們已普遍走出了單純進行分析側(cè)試研究的范疇，廣泛開展了分析數(shù)據(jù)與所包含信息的相關(guān)性研究，試圖揭示出分析結(jié)果與及環(huán)境變化等的內(nèi)在聯(lián)系，為診斷與預(yù)防、環(huán)境預(yù)測與治理等提供科學(xué)依據(jù)。
臺式x熒光光譜儀是一種波長較短的電磁，通常是指能t范圍在0.1^-100keV的光子。臺式x熒光光譜儀與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質(zhì)中的組成元素產(chǎn)生的特征，通過側(cè)里和分析樣品產(chǎn)生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家組成，得到物質(zhì)成分的定性和定量信息。
特征臺式x熒光光譜儀的產(chǎn)生與特性當(dāng)用高能電子束照射樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負(fù)的加速度會產(chǎn)生寬帶的連續(xù)X射線譜，簡稱為連續(xù)潛或韌致。另一方面，化學(xué)元素受到高能光子或粒子的照射，如內(nèi)層電子被激發(fā)，則當(dāng)外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。特征X射線是一種分離的不連續(xù)譜。如果激發(fā)光源為x射線，則受激產(chǎn)生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征x射線顯示了特征x射線光譜儀產(chǎn)生的過程。