二、多弧離子真空鍍膜技術概述
多弧離子鍍(Multi-Arc Ion Plating, MAIP)是一種基于電弧蒸發(fā)的物理氣相沉積(PVD)技術。其基本原理包括在高真空或中高真空環(huán)境下,通過觸發(fā)電弧使靶材/蒸發(fā)材料瞬時蒸發(fā)成高能粒子,同時輔以電場或磁場對蒸發(fā)粒子進行電離加速,使離子化物質(zhì)以較高動能轟擊并結合基底表面,從而形成致密、附著力強的薄膜。多弧則指同時使用多個電弧點或多個靶位,以提高蒸發(fā)速率、擴展蒸發(fā)分布并增強覆蓋能力。