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為了避免下驅(qū)動(dòng)裝置4受到外界震動(dòng)的影響，進(jìn)而保下驅(qū)動(dòng)裝置4的工作精度，所述底座1和下驅(qū)動(dòng)裝置4之間設(shè)置有減震裝置，所述下驅(qū)動(dòng)裝置4的底端設(shè)置有承載板41，所述承載板41通過(guò)少兩個(gè)螺釘16固定連接在底座1上，所訴減震裝置包括與螺釘16分別一一對(duì)應(yīng)的下減震橡膠墊171和上減震橡膠墊181，所述下減震橡膠墊171套裝在螺釘16的下端部，所述下減震橡膠墊171的底部和底座1抵接，所述下減震橡膠墊171的頂部和承載板41抵接，以便于通過(guò)下橡膠減震171墊吸收從外界傳來(lái)的震動(dòng)，以避免下驅(qū)動(dòng)裝置4受到外界震動(dòng)的影響，所述上減震橡膠墊172套裝在螺釘16的上端部，且所述上減震橡膠墊172與承載板41的上端面壓接，以避免螺釘16的震動(dòng)影響到承載板41。

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液壓傳動(dòng)裝置能準(zhǔn)確的完成主爐室和副爐室的開(kāi)啟，爐室、副爐室上升到位后對(duì)稱(chēng)旋出，保主機(jī)穩(wěn)定可靠，并便于機(jī)動(dòng)取出晶體，拆裝熱場(chǎng)系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過(guò)振動(dòng)消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗(yàn)及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，加熱元件采用硅碳棒，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，，拉伸強(qiáng)度高，大大提高了使用壽命；2、可抽真空，并能通入多種保護(hù)氣氛（易、強(qiáng)腐蝕性氣體除外）；3、超壓自動(dòng)泄壓，超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠；4、我們的軟件設(shè)備通過(guò)485或USB接口與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能；可安裝無(wú)紙記錄裝置，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出；5、可選配通過(guò)觸摸屏操作的方式對(duì)真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)進(jìn)行程序控制，操作簡(jiǎn)單方便，無(wú)誤。