2.45 GHz 微波等離子體源是一種用于產(chǎn)生等離子體的設(shè)備,它利用 2.45 GHz(千兆赫)的微波頻率來產(chǎn)生電離氣體。這種技術(shù)在各種工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用中都有重要應(yīng)用。
材料處理:微波等離子體源可用于表面處理、薄膜沉積和蝕刻工藝。它們可以幫助在各種材料上沉積薄膜,或改變材料的表面特性。
Sirem微波等離子體源源被設(shè)計成立或遠(yuǎn)程操作、良好的電力穩(wěn)定性和顯著低電力損耗。 詳細(xì)和交互式的界面使它們易于操作、使用,可以通過RS232、RS485, ETHERNET 或現(xiàn)場總線連接進(jìn)行模擬控制,如CanOpen、Modbus、Profibus等。