中文名稱：   六甲基二硅氮烷

中文別名：   六甲基二硅亞胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS

英文名稱：   1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane

CAS號：      999-97-3

EINECS號：   213-668-5

分子式：     C6H19NSi2

分子量：     161.39

密度：       0.765

熔點：       -78℃

沸點：       125℃

閃點：       20℃

性狀：       無色透明液體、、略帶胺味

用途：中間體，是羥基及氨基保護劑；特種有機合成；硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑

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