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典型電廠鍋爐煙氣處理流程是脫硝在前脫硫在后，脫硝后需要檢測如NO、NO2（通稱NOX，氮氧化物）、O2及NH3等；而脫硫前需要檢測SOSO3；OCO2；粉塵等。按照常規(guī)的做法就是在脫硝出口安裝一套CEMS，除塵器后進(jìn)脫硫塔前安裝一套CEMS，這樣做的好處是煙氣采樣數(shù)據(jù)上傳時(shí)間短，容易實(shí)現(xiàn)脫硝的自動控制。以尿素法、LIFAC工藝等半干法脫硫脫氮系統(tǒng)為例，其工藝是把堿性物質(zhì)(石灰石、氫氧化鈉、碳酸氫鈉等等)的溶液或尿素溶液噴入爐膛、煙道或噴霧洗滌塔內(nèi)進(jìn)行脫硫脫氮。