探針是半導體試驗所需的重要耗材。通過與試驗機、分揀機、探針臺配合使用,可以篩選出產(chǎn)品設計缺陷和制造缺陷,用于設計驗證、晶圓試驗和成品試驗。它在確保產(chǎn)品產(chǎn)量、控制成本、指導芯片設計和工藝改進方面發(fā)揮著重要作用。
在眾多探針技術中,五孔探針是一種應用于流體動力學領域,特別是對于復雜流場特性測量的工具。它的設計基于伯努利原理和流體連續(xù)性方程,主要用于測量氣流的速度、壓力分布以及流場的湍流特性。五孔探針因其結構包含五個開孔而得名,這五個孔一般按照特定的幾何布局排列。
探針的選用
(1)材料:選擇材質通常為316不銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學惰性和機械性能,對探測的液體和氣體有不同的適應性。
(2)形狀:選擇探針的形狀應該根據(jù)實驗需求進行選擇,通常探針的形狀為直棒狀、U形、Z形等。考慮到實驗的靈敏度問題,在選用探針時與被測物相匹配。
(3)長度:探針的長度是下降液面幅度的關鍵因素。為獲得準確的下降水平,要根據(jù)實際測量需求選擇合適的長度。
(4)直徑:探針的粗細通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的探針會影響測量的靈敏度,過細的探針則可能會導致探針的折斷。
(5)表面處理:在實驗中,探針處于探測的介質中,探針的表面形態(tài)和性質會直接影響到測量結果。因此,探針的表面要求經(jīng)過光潔處理和表面處理。