儀器主要技術(shù)參數(shù)及產(chǎn)品特點(diǎn):
型 號
| SMU-4040HA
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X/Y/Z測量行程
| 400╳400╳200mm
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Z軸行程
| 調(diào)焦行程200mm(可根據(jù)客戶要求定制加高)
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XY軸基座
| 00級濟(jì)南青大理石
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儀器底座
| 00級濟(jì)南青大理石
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玻璃臺面尺寸
| 480╳480mm
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玻璃臺承重
| 30kg
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傳動型式
| Hiwin P級精密線性導(dǎo)軌
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Hiwin C5級研磨滾珠絲桿
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NSK原裝進(jìn)口軸承
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(可選配手持式移動搖桿操作)
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金屬貼片光學(xué)尺
| X/Y軸分辨率:0.0005mm(0.5μm,可選配0.1μm)
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Z軸分辨率:0.0005mm(0.5μm,可選配0.1μm)
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X/Y線性測量精度(μm)
| ≤2.8+L/200
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機(jī)臺定位精度(μm)
| ≤2.8
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重復(fù)精度(μm)
| ≤2.8
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電機(jī)
| HCFA雙閉環(huán)CNC伺服系統(tǒng)
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X/Y軸采用HCFA400W伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng) Z軸采用HCFA(帶剎車)100W伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)
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攝像機(jī)
| Hikvision 1/3”超清彩色工業(yè)數(shù)字相機(jī)
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測量軟件
| 自主研發(fā)全自動影像軟件 (測量數(shù)據(jù)可按客戶報表格式導(dǎo)出或?qū)隡ES、QMS系統(tǒng))
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鏡頭
| 全自動變倍鏡頭(可選配同軸光、探針、鐳射頭、激光定位導(dǎo)航) 光學(xué)放大倍率0.7-4.5X,影像放大倍率30-300X 放大倍率為近似值,與顯示器的尺寸及分辨率相關(guān), 可通過選配0.5X/2X物鏡,實現(xiàn)放大倍率15-150X/60-600X
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光源系統(tǒng)
| 表面光源:5環(huán)8區(qū)LED冷光源,255級立調(diào)節(jié)
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輪廓光源:LED綠色冷光源,255級立調(diào)節(jié)
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儀器外形尺寸(L*W*H)
| 1230╳820╳1850mm
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儀器重量(kg)
| 400kg(機(jī)臺高速運(yùn)行時的穩(wěn)定性)
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電源
| AC220V/50HZ AC110V/60HZ
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電腦
| intel I5主機(jī)
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顯示器
| 27寸
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質(zhì)保
| 整機(jī)質(zhì)保1年
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影像視頻卡
| intel千兆網(wǎng)卡
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電源開關(guān)
| 臺灣銘緯 MW 12V-24V,漏電、短路保護(hù)
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電源濾波器
| X、Y、Z共3組立濾波器(抗電流干擾)
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