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南通通州真空泵回收南通通州多晶硅鑄錠爐回收

更新時(shí)間:2025-09-17 [舉報(bào)]
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而采用有限元法數(shù)值模擬是一種優(yōu)化單晶爐設(shè)計(jì)的重要工具。本文對(duì)采用矮加熱器的復(fù)合式熱場(chǎng)進(jìn)行了數(shù)值模擬,得到了流場(chǎng)分布圖和熱場(chǎng)溫度分布圖。對(duì)新型熱屏和矮加熱器對(duì)晶體生長(zhǎng)的影響進(jìn)行了系統(tǒng)的理論分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)工作。結(jié)果表明,新型熱屏不僅起到導(dǎo)流筒的作用,改進(jìn)了流場(chǎng),使單晶氧含量下降;而且熱屏解決了大直徑單晶生長(zhǎng)中結(jié)晶潛熱難以散發(fā)的問(wèn)題,大大提高了拉晶速率,降低了生產(chǎn)成本。
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本發(fā)明的直拉式單晶生長(zhǎng)爐中,經(jīng) 輸入管輸入的氣壓為0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量為30L/min。 該流量不但不影響該爐中單晶的生長(zhǎng),平均每個(gè)直拉式單晶生長(zhǎng)爐每 天可少消耗1440L,有效降低了生產(chǎn)成本,且利于在硅單晶生長(zhǎng)過(guò)程 中單晶分子排列結(jié)構(gòu)的整齊性,還利于提高電阻率的均布性。(2)本發(fā)明 的直拉式單晶生長(zhǎng)爐中,碗形的氣流導(dǎo)向裝置設(shè)于坩堝支持器下方和爐底部的排氣口之間,且氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔及一對(duì)電極孔分別與該爐的石 墨中軸及一對(duì)電極孔配合設(shè)置,有效地減小了爐內(nèi)空間,便于迅速及時(shí)地 將爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體排出,且利于減少熱能和的消耗量,使原有的引晶功率從65KW減到61KW;另外,由于該爐的排氣口與氣流 導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通,分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時(shí),化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置更好地驅(qū)動(dòng)導(dǎo)料管20提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,所述導(dǎo)流管20和支撐桿191均呈傾斜狀設(shè)置,所述支撐桿191和導(dǎo)流管20的傾斜方向及傾斜角度一致。為了增強(qiáng)外部化料器7的穩(wěn)固性,所述連接塊194少設(shè)置有兩個(gè)。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料,所述絲杠192的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95,所述防塵罩95為波紋防塵罩。

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