GB/T 18867 2014《電子級(jí)六氟化硫》是中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，用于規(guī)定電子級(jí)六氟化硫（SF?）氣體的質(zhì)量要求和檢測(cè)方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于以高純六氟化硫?yàn)橹饕煞值碾娮庸I(yè)用氣體，主要用于半導(dǎo)體制造、液晶顯示等領(lǐng)域。 根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)，電子級(jí)六氟化硫的全組分分析通常包括以下檢測(cè)項(xiàng)目： ### 

1.    主要成分     六氟化硫（SF?） ### 

2. 2.   雜質(zhì)氣體   標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)一些常見的雜質(zhì)氣體進(jìn)行了限制和檢測(cè)，主要包括：   空氣（N? + O?）   水（H?O）      （H?S）       （SO?）   四氟化碳（CF?）   氮?dú)猓∟?）   氧氣（O?）       （CO）   二氧化碳（CO?）   氫氣（H?）   氬氣（Ar） ### 

3. 3.   純度指標(biāo)     SF? 的純度通常需要達(dá)到 99.999% 或更高。   雜質(zhì)氣體的含量需要符合特定的限值要求。 ### 

4. 4.   水分含量     水分含量通常需要控制在極低水平，例如 ppm 或 ppb 級(jí)別。 ### 

5. 5.   毒性氣體檢測(cè)     檢測(cè)可能存在的有毒氣體，如 H?S 和 SO?。 ### 

6. 6.   物理性能     密度   沸點(diǎn)   熔點(diǎn) ### 

7. 7.   其他檢測(cè)項(xiàng)目     可能還包括對(duì)其他痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，具體取決于應(yīng)用需求和標(biāo)準(zhǔn)的要求。 ### 分析方法 這些檢測(cè)項(xiàng)目通常通過以下方法進(jìn)行：     色譜法  ：如氣相色譜法（GC）或液相色譜法（HPLC），用于檢測(cè)氣體組分。     質(zhì)譜法  ：如氣相色譜 質(zhì)譜聯(lián)用（GC MS），用于更  地定性和定量分析。     光譜法  ：如紅外光譜法，用于檢測(cè)某些特定氣體。     電化學(xué)傳感器  ：用于檢測(cè)某些特定氣體（如水分、氧氣等）。 這些檢測(cè)項(xiàng)目的具體限值和要求可能會(huì)因具體的應(yīng)用場(chǎng)景和技術(shù)要求而有所不同。因此，在實(shí)際操作中，應(yīng)參照 GB/T 18867 2014 標(biāo)準(zhǔn)的具體條款進(jìn)行詳細(xì)分析和檢測(cè)。