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本多清洗機(jī)兆聲波W-357-1MQG-SKH系列-北京信源天恒科技有限公司

更新時(shí)間:2025-09-17 [舉報(bào)]
本多清洗機(jī) 兆聲波W-357-1MQG-SKH系列-北京信源天恒科技有限公司
特長
對具有細(xì)微結(jié)構(gòu)的晶片進(jìn)行低損傷清洗
■通過在石英振動(dòng)元件上疊加超聲波對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行清洗。
將超聲波振動(dòng)從石英振動(dòng)元件通過化學(xué)溶液傳播到半導(dǎo)體晶片上,接觸區(qū)的化學(xué)溶液振動(dòng),加速去除表面污染。
■清潔度高,對半導(dǎo)體晶圓的損害小。
與使用橡膠材料(如墊片)的設(shè)備相比,使用石英與化學(xué)溶液接觸,可以確保清潔,而不會(huì)有橡膠溶出。
■震蕩器冷卻功能通過用氣體(如氮?dú)猓├鋮s震蕩器,可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)工作,沒有頻率波動(dòng)。
冷卻還能確保沒有溫度的突然變化,從而延長使用壽命。
用途
膠體殘留物的清除,封邊和灰化后的聚合物清除,柵電極極清洗,CMP后的清洗。
標(biāo)簽:本多W-357-1MQG-SKH兆聲波W-357-1MQG-SKH
北京信源天恒科技有限公司
  • 吳先生
  • 北京市昌平區(qū)科技園區(qū)振興路36號院2號樓2M-11號
  • 18311126958

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