無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉子流量計，氣體減壓調節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內配置抽動的三層載物網板( 可按需設計)。

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵烤箱是一種用于制造、低污染的產品的設備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預防材料在烤箱內變質。在過去，制作特定產品時，在低溫下烘烤，因此產生的灰塵量很大。通過使用無塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產品的質量和潔凈度。