2.45 GHz 微波等離子體源是一種用于產(chǎn)生等離子體的設(shè)備，它利用 2.45 GHz（千兆赫）的微波頻率來產(chǎn)生電離氣體。這種技術(shù)在各種工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用中都有重要應(yīng)用。

Sairem公司是法國一家專注于提供微波源、微波等離子體源的公司，它的微波源被廣泛應(yīng)用于PECVD法制造生長金剛石設(shè)備中，等離子體源用于清洗、噴濺、蝕刻等設(shè)備中。

等離子體源是指產(chǎn)生和維持等離子體的設(shè)備或裝置。等離子體是由高能粒子擊打原子或分子而產(chǎn)生電離的氣態(tài)物質(zhì)，通常包括正離子、電子等帶電粒子。等離子體源可以是利用高溫或高壓來產(chǎn)生等離子體，也可以是利用激光、微波等輻射來產(chǎn)生。在科學(xué)研究、工業(yè)應(yīng)用和醫(yī)療領(lǐng)域中，等離子體源被廣泛應(yīng)用于材料加工、離子注入、核聚變等方面。常見的等離子體源有等離子體切割機、等離子體切割焊接機、等離子體清洗機等。