全套探測系統(tǒng)： 根據(jù)出射能量和出射角選 擇性地探測樣品的電子
GeminiSEM 系列的全套探測系統(tǒng)有大量不同 的探測器可供選配。通過組合 EsB (能量選 擇背散射) 探測器、 Inlens 二次電子探測器 及 AsB (角度選擇背散射) 探測器獲取樣品 材料、表面形貌或結晶度的信息。入射電子 與樣品作用后可產生二次電子( SE ) 和背散 射電子( BSE )。從納米級樣品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次電子可用來表征樣 品的表面形貌。這些二次電子可通過特設 計的電子束推進器向后加速進入鏡筒，并經(jīng) Gemini 物鏡投射到環(huán)形 Inlens 二次電子探測 器里。 GeminiSEM 可根據(jù)樣品的表面條件在 寬角度范圍內探測二次電子。

專為日常檢測和分析應用而設計，蔡司 EVO 擁有的操作 設計理念，無論是經(jīng)驗豐富的顯微技術人員還是不具備掃描 顯微鏡知識的工程師，均可輕松上手。它能夠提供出色 的數(shù)據(jù)，特別適合于后續(xù)檢測中無法涂覆導電層的非
導電零部件。

擴展功能
■ 與蔡司電鏡可實現(xiàn)聯(lián)用, 實現(xiàn)樣品的多尺 度多維度研究;
■ 搭載第三方配件, 如冷熱臺, 拉伸臺, 實 現(xiàn)樣品原位 4D 分析;
■ 搭載 Airyscan 實現(xiàn)高分辨熒光成像;
■ 配置 ZEN Intellesis 軟件提供基于機器學習 的圖像分割解決方案,可用于鑒別復雜樣 品的不同相組織。