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江蘇溧陽長晶爐回收江蘇溧陽渦旋高真空泵回收

更新時間:2025-09-11 [舉報]
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美國KAYEX\國外以美國KAYEX 為代表,生產全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上,進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產品早在80年代初進入市場,已成為半導體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內僅±1mm。主要產品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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一種連續(xù)拉晶單晶爐背景技術:目前,大多數單晶爐都是采用一次性向主爐室坩堝投料的方法,通常是生產完一爐后,等單晶爐冷卻后,再往主爐室坩堝內裝料,進行下一次生產,這樣既浪費了時間,又造成了熱量的流失,且在拉晶棒的過程中,不能進行補料操作,在拉晶棒的后期階段,會因為硅料中某些元素的揮發(fā)而影響晶棒后半部分的質量。技術實現要素:本發(fā)明所要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷,提供一種連續(xù)拉晶單晶爐,它可以連續(xù)加料、連續(xù)化料,從而實現連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝可以實現連續(xù)拉制五六根晶棒,減少了冷卻、拆爐、裝爐的時間,提高了生產效率,也減少了熱量的流失。為了解決上述技術問題,本發(fā)明的技術方案是:一種連續(xù)拉晶單晶爐,它包括括底座、主爐室、副爐室、下驅動裝置和上驅動裝置,所述主爐室和下驅動裝置均安裝在底座上,分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,全文摘要為減少直拉式單晶生長爐的消耗的技術問題,本發(fā)明提供了一種直拉式單晶生長爐,其包括輸入管、與輸入管相連通的環(huán)形氣體分布器;其特征在于經輸入管輸入的氣壓為0.8×103Pa0.9×103Pa,流量為30L/min。還包括設于坩堝支持器下方和排氣口之間的碗形氣流導向裝置;其包括中軸孔、一對電極孔、以及與排氣口相對的通氣孔;石墨中軸穿過所述氣流導向裝置的中軸孔,所述電極柱分別穿過所述電極孔,排氣口與氣流導向裝置的各通氣孔相連通,氣流導向裝置的上端部設于保溫筒與發(fā)熱體之間。

標簽:長晶爐回收
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