亂流潔凈室的原理和特性
1、定義:亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室.
2、原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在干級(jí)以上至30萬(wàn)級(jí)凈化級(jí)別)。
3、特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別，換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別(換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高)
(1)、自?xún)魰r(shí)間:是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。 1,000級(jí)希望不超過(guò)20min(分鐘)(可取15min計(jì)算)10,000級(jí)希望不超過(guò)30min(分鐘)(可取25min計(jì)算)100,000級(jí)希望不超過(guò)40min(分鐘)(可取30min計(jì)算)
(2)、換氣次數(shù)(按上述自?xún)魰r(shí)間要求設(shè)計(jì))1,000級(jí) 43.5-55.3次/小時(shí)(規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級(jí) 23.8-28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級(jí) 14.4-19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))

潔凈室里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及-些其他的設(shè)施。HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計(jì)和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。
對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到室無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中。升級(jí)的投資收回率通常比直接購(gòu)買(mǎi)新設(shè)備要高很多。大部分工廠設(shè)備翻新的投資回收期不超過(guò)兩年。也就是說(shuō)，通常投資收回率至少是50%，對(duì)照投資新的固定資產(chǎn)，則只有10%到15%(即投資回收期需要七年時(shí)間)。
雖然初步設(shè)計(jì)報(bào)價(jià)昂貴，但是經(jīng)濟(jì)翻新的可能性仍然存在。設(shè)備翻新的投資回收期不超過(guò)兩年，總體而言，在某種程度上投資收回率是較高的。
下面是新建和現(xiàn)有工廠提供解決能效的十個(gè)技巧，不但提供了可靠的技術(shù)，風(fēng)險(xiǎn)也小、而且費(fèi)用低或者不需要花錢(qián)，而投資回收期又很吸引人。

潔凈室
clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
潔凈區(qū)clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘人、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式或封閉式。