根據(jù) GB/T 16943—2009《電子工業(yè)用氣體 氦》 標(biāo)準(zhǔn),對于氦氣中氧、氮、 等組分的檢測要求如下:
色譜柱要求 : 色譜柱 I:用于分析氦中氧、氮和 組分。 色譜柱 II:長約0.5米,內(nèi)徑3毫米。
2. 檢測靈敏度 : 各待測組分的檢測限應(yīng)比表1中規(guī)定的值低約一個數(shù)量級。
3. 測量數(shù)據(jù) : 使用色譜峰面積或峰高來定量,單位為平方毫米(mm2)或毫米(mm)。
4. 純度要求 : 檢測方法需滿足電子工業(yè)用氦氣的純度要求,確保雜質(zhì)含量在可接受范圍內(nèi)。 如果需要更詳細(xì)的信息,可以參考標(biāo)準(zhǔn)原文或相關(guān)文件。