關(guān)鍵特性
高純度：靶材廢渣中的金屬雜質(zhì)含量通常 < 0.1%，適合直接再生為靶材原料。
低毒性：不含傳統(tǒng)電鍍中的六價鉻、氰化物，但陶瓷靶材（如 ITO）中的銦屬于重金屬，需防泄漏。
物理形態(tài)多樣：包括粉末（靶材磨損）、塊狀（報廢部件）、薄膜（沉積殘余物），需針對性處理。


預(yù)處理：去除雜質(zhì)與活化
脫水與干燥
電鍍廢渣多為含水率高的污泥狀，通過壓濾機(jī)、離心機(jī)脫水，或烘干設(shè)備干燥，減少體積便于后續(xù)處理。
破碎與篩分
對塊狀廢渣進(jìn)行破碎（如顎式破碎機(jī)），篩分去除石子、塑料等非金屬雜質(zhì)，得到均勻顆粒。
成分分析
通過光譜分析（如 XRF、ICP）確定重金屬（Cr、Ni、Cu、Ag 等）及雜質(zhì)含量，為后續(xù)工藝提供依據(jù)。

廢渣主要來源
靶材損耗：濺射過程中未沉積的金屬 / 陶瓷靶材粉末（如鈦、鉻、鋯、氮化鈦等）；
設(shè)備維護(hù)：真空腔體內(nèi)殘留的沉積廢料、更換的靶材邊角料；
工藝副產(chǎn)物：反應(yīng)氣體（如 N?、Ar、CH?）與靶材反應(yīng)生成的固態(tài)顆粒物（如碳化物、氮化物）；
廢氣處理殘渣：尾氣凈化裝置（如活性炭吸附、過濾器）捕獲的金屬粉塵。

直接資源化利用
作為新材料原料：
廢渣中的 TiN 粉末可添加到陶瓷刀具原料中，提高耐磨性；
金屬粉末經(jīng)壓制 - 燒結(jié)后，制成靶材再生料（成本比新靶材低 40%）；
建筑材料添加物：固化穩(wěn)定化后作為混凝土添加劑（需確保重金屬浸出濃度＜GB 5085.6 標(biāo)準(zhǔn)）。

回收后的電鍍廢渣可以進(jìn)行再加工，提取其中的稀有金屬和有價值的資源。這些資源可以用于制造產(chǎn)品，滿足市場需求，創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)價值?；厥蘸蟮碾婂儚U渣也可以作為再生材料，用于制造其他產(chǎn)品，如建材、電子產(chǎn)品等，實(shí)現(xiàn)資源的循環(huán)利用。

典型場景舉例
電子廢料回收：線路板、芯片中的金、銀、鈀通過酸浸→萃取→還原→電解精煉，得到屬。
電鍍廢渣回收：含金銀的電鍍污泥經(jīng)破碎→氰化浸出→鋅粉置換→電解，提取金銀。
汽車催化劑回收：含鉑、鈀、銠的催化劑經(jīng)破碎→酸浸或堿熔→萃取分離→還原，得到鉑族金屬。