“真空箱氦檢漏”是指在真空系統(tǒng)中使用氦氣（He）作為示蹤氣體，檢測系統(tǒng)是否存在泄漏的一種方法。這種方法常用于高真空或真空系統(tǒng)中，如半導(dǎo)體制造、航空航天、科研設(shè)備等對(duì)密封性要求的場合。 一、基本原理

1. 氦氣特性 ： 氦氣分子小，滲透性強(qiáng)。 不易與其他物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，適合做示蹤氣體。 在大氣中含量低，背景干擾少，靈敏度高。

2. 2. 檢測方式 ： 將被測系統(tǒng)抽至一定真空狀態(tài)。 向系統(tǒng)中注入少量氦氣（通常為已知濃度的混合氣體）。 使用 質(zhì)譜檢漏儀（Mass Spectrometer Leak Detector, MSLD） 檢測系統(tǒng)是否泄漏出氦氣。 二、檢測步驟（簡要）

3. 1. 準(zhǔn)備階段 ： 確保被測系統(tǒng)處于干燥、清潔狀態(tài)。 抽真空至所需壓力（通常為10??~10?? mbar）。

4. 2. 加壓/加氦 ： 在系統(tǒng)泄漏的位置（如法蘭、閥門、接頭等）噴灑或注入氦氣。 或者將整個(gè)系統(tǒng)置于氦氣環(huán)境中進(jìn)行檢測。

5. 3. 檢測階段 ： 使用質(zhì)譜檢漏儀監(jiān)測系統(tǒng)內(nèi)是否有氦氣泄漏。 根據(jù)儀器讀數(shù)判斷泄漏位置和大小。