江蘇灌南濾波柜回收 江蘇灌南藍(lán)寶石長晶爐回收
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在本實(shí)施例中,所述副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)一致,所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過程中,因晶棒掉落而出現(xiàn)事故,連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動(dòng)到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動(dòng)接晶托,所述電動(dòng)接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動(dòng)推桿152、接晶托電機(jī)154和固定管151,所述電動(dòng)推桿152連接在副爐室旋臂14上,所述提升桿連接在電動(dòng)推桿152的推桿上,以便通過推桿的升降帶動(dòng)提升桿升降,所述接晶托電機(jī)154連接在提升桿上,所述托板153連接在接晶托電機(jī)154的輸出軸上,以便通過接晶托電機(jī)154驅(qū)動(dòng)托板153旋轉(zhuǎn),所述固定管151套裝在提升桿和電動(dòng)推桿152的推桿的外側(cè),所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。藍(lán)寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,專利文獻(xiàn)CN1205362C公開了 一種直拉硅單晶爐熱場的氣流控制方 法及裝置,其包括在單晶爐晶體生長室內(nèi)的石墨加熱器和保溫筒間裝有密 封導(dǎo)氣裝置,使含有一氧化硅的氣體的氣流經(jīng)密封導(dǎo)氣裝置的導(dǎo)氣管 及排氣口,在真空泵的作用下,排出爐外。密封導(dǎo)氣管裝置由導(dǎo)氣管、底 座、密封環(huán)、排氣口所組成,安裝在石墨加熱器和保溫筒之間。上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處在于單晶爐的坩堝支持器下方的混合氣體 不能有效的排出,從而使混合氣體中的一氧化硅對加熱器和坩堝進(jìn)行腐蝕, 影響單晶爐的使用壽命。且其向爐內(nèi)充入時(shí)的充氣氣壓在1. 3xi0a 以上,導(dǎo)致其流量較大,故而消耗量大,生產(chǎn)成本較高。

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直拉硅單晶熱場加熱器設(shè)計(jì)分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長的整個(gè)溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。