黃山整流柜回收 黃山真空爐回收
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全文摘要為減少直拉式單晶生長爐的消耗的技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種直拉式單晶生長爐,其包括輸入管、與輸入管相連通的環(huán)形氣體分布器;其特征在于經(jīng)輸入管輸入的氣壓為0.8×10
3Pa0.9×10
3Pa,流量為30L/min。還包括設(shè)于坩堝支持器下方和排氣口之間的碗形氣流導(dǎo)向裝置;其包括中軸孔、一對電極孔、以及與排氣口相對的通氣孔;石墨中軸穿過所述氣流導(dǎo)向裝置的中軸孔,所述電極柱分別穿過所述電極孔,排氣口與氣流導(dǎo)向裝置的各通氣孔相連通,氣流導(dǎo)向裝置的上端部設(shè)于保溫筒與發(fā)熱體之間。藍(lán)寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,使肩部近似直角;然后,進入等徑工藝,通過控制熱場溫度和晶體提升速度,生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體;后,待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時,再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體,稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程基本完成,進行一定的保溫冷卻后可以取出。

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穿過所疼氣流導(dǎo)向裝置(20) 的中軸孔(2-1),該爐的一對電極柱(15)分別穿過所述電極孔(2-2), 該爐的排氣口 (13)與氣流導(dǎo)向裝置(20)的各通氣孔(2-3)相連通,氣 流導(dǎo)向裝置(20)的上端部(2-4)設(shè)于該爐的保溫筒(17)與發(fā)熱體(16) 之間。3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的直拉式單晶生長爐,其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)的中軸孔(2-1)與該爐的石墨中軸(21)活動密封連接。4、 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的直拉式單晶生長爐,其特征在于所述 氣流導(dǎo)向裝置(20 )的電極孔(2-2 )分別與該爐的電極柱(15 )密封連接。5、