真空鍍膜機通常由真空腔體、加熱系統(tǒng)、蒸發(fā)源、濺射源、離子源、氣體控制系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。在真空腔體中,通過抽氣系統(tǒng)將氣體抽走,形成高真空環(huán)境。加熱系統(tǒng)用于提供蒸發(fā)源或濺射源所需的熱能,使材料蒸發(fā)或濺射到
蒸發(fā)真空鍍膜機是一種用于在物體表面形成薄膜的機械設備。它通過將材料加熱至高溫,使其蒸發(fā)成為氣體,然后在真空環(huán)境中進行沉積,形成薄膜。蒸發(fā)鍍膜機通常由以下幾個部分組成:
1. 蒸發(fā)源:用于加熱材料至高溫并將其蒸發(fā)成氣體。常見的蒸發(fā)源包括電子束、電阻加熱器和電弧等。
2. 沉積室:提供真空環(huán)境,防止蒸發(fā)材料與空氣發(fā)生反應。通常通過泵將沉積室抽成高真空狀態(tài)。
3. 襯底臺:用于放置待鍍膜物體的平臺??梢愿鶕?jù)需要進行旋轉(zhuǎn)或傾斜,以獲得均勻的薄膜沉積。
4. 控制系統(tǒng):用于控制蒸發(fā)源的加熱功率、真空度和沉積時間等參數(shù),以確保薄膜的質(zhì)量和均勻性。
卷繞式真空鍍膜機設備是一種用于在卷繞材料表面進行薄膜鍍覆的設備。它通常由以下幾個主要組成部分構(gòu)成:
1. 卷繞系統(tǒng):用于將卷繞材料(如卷繞紙、塑料薄膜等)從卷軸上展開,并將鍍膜后的材料重新卷繞到卷軸上。
2. 真空腔體:提供一個真空環(huán)境,用于進行薄膜鍍膜過程。真空腔體通常由不銹鋼材料制成,并具有密封性能,以確保在真空操作期間不會泄漏。
3. 蒸發(fā)源:用于蒸發(fā)鍍膜材料,產(chǎn)生蒸汽或離子,以在卷繞材料表面形成薄膜。常見的蒸發(fā)源有電子束蒸發(fā)源和磁控濺射源等。
4. 控制系統(tǒng):用于控制整個設備的運行,包括真空度、蒸發(fā)源功率、卷繞速度等參數(shù)的調(diào)節(jié)和監(jiān)控。
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