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加熱元件采用硅碳棒，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，，拉伸強(qiáng)度高，大大提高了使用壽命；2、可抽真空，并能通入多種保護(hù)氣氛（易、強(qiáng)腐蝕性氣體除外）；3、超壓自動(dòng)泄壓，超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠；4、我們的軟件設(shè)備通過(guò)485或USB接口與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能；可安裝無(wú)紙記錄裝置，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出；5、可選配通過(guò)觸摸屏操作的方式對(duì)真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)進(jìn)行程序控制，操作簡(jiǎn)單方便，無(wú)誤。

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所述化料器升降驅(qū)動(dòng)裝置包括支撐桿191、絲杠192、電機(jī)193和連接塊194，所述支撐桿191連接在化料器旋臂18上，所述絲杠192可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿191上，所述電機(jī)193連接在絲杠192上，所述連接塊194通過(guò)螺紋連接在絲杠192上，所述外部化料器7連接在連接塊194上，以便通過(guò)電機(jī)193驅(qū)動(dòng)絲杠192旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將絲杠192的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為連接塊194的直線運(yùn)動(dòng)，并通過(guò)所述連接塊194帶動(dòng)外部化料器7升降。具體地，為了使得溶化后的硅料更好地進(jìn)入主爐室坩堝21內(nèi)，所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21之間還設(shè)置有用于導(dǎo)流溶化后的硅料的導(dǎo)流管20。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、專利名稱：直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域：本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長(zhǎng)爐。背景技術(shù)：圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖；圖1-2 中，l為爐筒，2為保溫蓋，3為保溫蓋，4為保溫材津牛，5為保溫罩，6為 加熱器，7為水套，8為石英堝，9為導(dǎo)流筒，IO為爐底護(hù)盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長(zhǎng)過(guò)程中需要向爐內(nèi)不斷充入，并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合，由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成， 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上，從而影響了單晶爐的使用壽命。