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有些真空鍍膜機真空計的讀數(shù)，與氣體種類有關，比如熱偶計，電離真空計。選用適當?shù)臍怏w或液體做示漏物質(zhì)，這些真空計便成了探測器，一般鍍膜機上都有真空計，使用起來很方便，也是常用到的一種檢漏方法。用于熱偶計的示漏物質(zhì)有，二氧化碳，丁烷，酒精等熱偶計反應較慢，觀察要很仔細。用于電離計的示漏物質(zhì)有氦，氬，酒精等。
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真空鍍膜工藝在傳感器方面的運用在傳感器中，多選用那些電氣性質(zhì)相關于物理量、化學量及其變化來說，極為敏感的半導體資料。此外，其中大多數(shù)運用的是半導體的外表、界面的性質(zhì)，需求盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低報價制造、因而選用薄膜的狀況許多。
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