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顯影廢液處理設(shè)備  勻膠顯影  負(fù)膠顯影液2016年4月14日，由沈陽芯源公司承擔(dān)的2012年度國家02科技重大專項(xiàng)“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”項(xiàng)目在沈陽順利通過任務(wù)、財(cái)務(wù)驗(yàn)收，標(biāo)志著我國前道芯片制程領(lǐng)域用涂膠顯影設(shè)備在國產(chǎn)化進(jìn)程又邁出了重要的一步，不僅打破了該類設(shè)備一直由國外生產(chǎn)廠商長期壟斷、受制于人的局面，也填補(bǔ)了國內(nèi)該項(xiàng)技術(shù)空白，為我國前道芯片制程涂膠顯影設(shè)備進(jìn)入前段市場打開了突破口。

沈陽芯源公司聯(lián)合中科院沈陽自動(dòng)化研究所、清華大學(xué)深圳研究生院、上海集成電路研發(fā)中心以、上海微電子裝備有限公司等幾家產(chǎn)學(xué)研用合作單位，成功突破193nm光刻工藝超薄膠膜均勻涂敷、精細(xì)化顯影、精密、溫控?zé)崽幚淼汝P(guān)鍵核心技術(shù)，掌握了300mm勻膠顯影設(shè)備研制和工藝應(yīng)用技術(shù)；建立了前道制程300mm勻膠顯影設(shè)備工藝實(shí)驗(yàn)及測試平臺; 成功研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的300mm光刻工藝勻膠顯影設(shè)備考核測試機(jī)和上線示范應(yīng)用機(jī)；實(shí)現(xiàn)5臺項(xiàng)目產(chǎn)品上線示范應(yīng)用。

該項(xiàng)目成果產(chǎn)品的成功上線驗(yàn)證及示范應(yīng)用，加快了前道涂膠顯影設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程，將大大降低客戶采購成本和對國外設(shè)備的依賴性，該項(xiàng)目共性技術(shù)也可成功輻射應(yīng)用于封裝、LED等技術(shù)設(shè)備領(lǐng)域，對該類設(shè)備產(chǎn)能和穩(wěn)定性的具有的提升作用。同時(shí)，該項(xiàng)目的市場化、產(chǎn)業(yè)化也將為芯源公司帶來新的增長突破點(diǎn)，也將進(jìn)一步發(fā)揮芯源公司作為遼沈地區(qū)IC裝備對產(chǎn)業(yè)鏈的拉動(dòng)作用，遼沈地區(qū)傳統(tǒng)加工業(yè)進(jìn)入精密加工行業(yè)，帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)優(yōu)化升級，推動(dòng)遼沈地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)?；?、集聚化發(fā)展。