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更新時間:2025-09-16 [舉報]
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專利文獻CN1205362C公開了 一種直拉硅單晶爐熱場的氣流控制方 法及裝置,其包括在單晶爐晶體生長室內的石墨加熱器和保溫筒間裝有密 封導氣裝置,使含有一氧化硅的氣體的氣流經(jīng)密封導氣裝置的導氣管 及排氣口,在真空泵的作用下,排出爐外。密封導氣管裝置由導氣管、底 座、密封環(huán)、排氣口所組成,安裝在石墨加熱器和保溫筒之間。上述現(xiàn)有技術的不足之處在于單晶爐的坩堝支持器下方的混合氣體 不能有效的排出,從而使混合氣體中的一氧化硅對加熱器和坩堝進行腐蝕, 影響單晶爐的使用壽命。且其向爐內充入時的充氣氣壓在1. 3xi0a 以上,導致其流量較大,故而消耗量大,生產(chǎn)成本較高。藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,具體實施方式、本實施例的直拉式單晶生長爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經(jīng)輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導向裝置20;其包括設于氣流導向裝置20底部的中軸 孔2-l、設于所述中軸孔2-1兩側的一對電極孔2-2、以及設于所述中軸孔 2-1兩側并與該爐的排氣口 13相對的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過所述氣流導向裝置20的中軸孔2-1,該爐的一對電極柱15分別穿過所述電 極孔2-2,該爐的排氣口 13與氣流導向裝置20的各通氣孔2-3相連通,氣 流導向裝置20的上端部2-4設于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。
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