半導(dǎo)體測試探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括芯片設(shè)計驗證、晶圓測試和半導(dǎo)體成品測試。它起著連接芯片/晶圓與測試設(shè)備,并進行信號傳輸?shù)暮诵淖饔?,對于半?dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量控制具有重要意義。
探針的要求
(1)質(zhì)量問題:在使用過程中應(yīng)定期進行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會導(dǎo)致測量誤差增大,嚴重時可能會損壞實驗設(shè)備。
(2)加工工藝問題:在探針的制作過程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項:避免在測量過程中引入空氣,勿使用有陷進、連續(xù)的探針以免擾動測量,對于使用多個探針進行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。
(4)存儲和保養(yǎng)問題:盡可能地存儲環(huán)境無除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
環(huán)保處理:廢料中的其他非金屬成分也需要得到妥善處理,以避免對環(huán)境造成污染。例如,廢酸可以通過中和和沉淀處理進行無害化處理。廢水也需要經(jīng)過處理,以達到排放標準。
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