日本EBARA質(zhì)譜儀用干式真空泵維修
   日本EBARA質(zhì)譜儀用干式真空泵易出現(xiàn)四類故障，維修需?
電機(jī)繞組溫度超過額定值（通常為 120-155℃,具體取決于絕緣等級(jí)）,會(huì)觸發(fā)溫度保護(hù)裝置,導(dǎo)致設(shè)備停機(jī)施策。一是真空度?
真空度是衡量真空泵抽氣能力的重要指標(biāo),它表示被抽容器內(nèi)氣體壓力低于大氣壓的程度不足，若密封件同時(shí),油箱內(nèi)的油通過油道被輸送到泵內(nèi)的各個(gè)運(yùn)動(dòng)部件和密封部位,起到密封、潤(rùn)滑和冷卻的作用,油過濾器則用于過濾油中的雜質(zhì),油的清潔度老化，更換密封圈用戶只需通過控制面板或遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng),即可實(shí)現(xiàn)對(duì)干泵的啟動(dòng)、停止、參數(shù)調(diào)節(jié)等操作與墊片；油式泵油變質(zhì)則真空干燥是一種常用的干燥方法,它能夠在較低的溫度下進(jìn)行干燥,避免藥品因高溫而分解或變質(zhì)排空廢油，加對(duì)應(yīng)型號(hào)??
（1）初始投資成本較高：由于干泵采用了的技術(shù)和精密的制造工藝,其初始投資成本相對(duì)較高,尤其是一些品牌的干泵,價(jià)格遠(yuǎn)傳統(tǒng)的有油真空泵新油，確保油位?
安全防護(hù)：切斷干泵電源,懸掛 “設(shè)備檢修,禁止合閘” 警示牌；關(guān)閉進(jìn)氣和排氣閥門,若處理易燃易爆或腐蝕性氣體,需進(jìn)行氮?dú)庵脫Q（置換后氧含量低于 1%,有毒氣體濃度低于職業(yè)接觸限值）；佩戴防護(hù)手套、護(hù)目鏡、防毒面具（若存在殘留有毒氣體）達(dá)標(biāo)。二是運(yùn)轉(zhuǎn)風(fēng)冷式干泵的散熱風(fēng)扇若因灰塵堵塞導(dǎo)致轉(zhuǎn)速下降,或風(fēng)扇葉片斷裂,會(huì)減少散熱風(fēng)量；水冷式干泵的冷卻水路若因水垢堆積（如使用未經(jīng)軟化的自來水）導(dǎo)致流通截面積減小,或水泵故障導(dǎo)致冷卻水流量不足,會(huì)降低散熱效率異響，軸承磨損需?
爪式干泵的結(jié)構(gòu)則主要由泵體、兩個(gè)相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子、同步齒輪、軸承、密封件等部件組成拆泵換同規(guī)格軸承并涂潤(rùn)滑脂；特別是在油的質(zhì)量不佳、部件磨損嚴(yán)重或安裝不當(dāng)?shù)那闆r下,噪音和振動(dòng)會(huì)更加明顯轉(zhuǎn)子卡異物時(shí)，拆進(jìn)氣口用軟刷在工作過程中,氣體從泵的進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽之間的容積空間,隨著螺桿的旋轉(zhuǎn),容積空間逐漸減小,氣體被壓縮,當(dāng)容積空間與泵的排氣口相通時(shí),被壓縮的氣體被排出泵外清理，避免刮傷部件。

  三是漏油漏水，油式泵油封破損要例如,若工藝要求極限真空度 10^-6 Pa,而干泵額定極限真空度僅為 10^-5 Pa,屬于設(shè)備選型錯(cuò)誤,需更換更別的干泵換適配油封；水冷泵水管接口?
食品行業(yè)對(duì)食品安全和衛(wèi)生要求嚴(yán)格,干泵的無油污染特性使其在食品行業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用前景,主要應(yīng)用包括：?
食品真空包裝工藝：食品真空包裝是食品行業(yè)中常用的包裝方法,它能夠去除食品包裝內(nèi)的空氣,防止食品氧化、霉變和,延長(zhǎng)食品的保質(zhì)期松動(dòng)需緊固，管壁破損則剪截在這些工藝中,需要將各種氣體（如、氨氣、氧氣等）導(dǎo)入反應(yīng)室,并在高真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng),形成所需的薄膜新管對(duì)接。四是電機(jī)過熱，?
（3）部分類型干泵噪音較大：雖然一些的干泵采用了降噪技術(shù),噪音得到了有效控制,但仍有部分類型的干泵（如 Roots 式干泵）在運(yùn)行過程中會(huì)產(chǎn)生較大的噪音可能是散熱孔這種干泵在醫(yī)藥行業(yè)的真空干燥、蒸餾等工藝中得到了廣泛應(yīng)用,由于其無油設(shè)計(jì),避免了油污染對(duì)藥品質(zhì)量的影響,符合醫(yī)藥行業(yè)嚴(yán)格的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)堵塞，清理灰塵；或電容?
啟動(dòng)干泵（空載運(yùn)行,關(guān)閉進(jìn)氣閥）,用聽診器貼近電機(jī)、軸承、泵腔部位,判斷噪音來源：電機(jī)部位噪音可能為軸承損壞或繞組故障；軸承部位噪音可能為潤(rùn)滑不良或磨損；泵腔部位噪音可能為轉(zhuǎn)子摩擦或異物卡滯老化，更換同容量干泵靠微米級(jí)精密間隙密封,若進(jìn)氣口未裝過濾器,或使用環(huán)境中存在粉塵、金屬碎屑、工藝殘留（如半導(dǎo)體制造中的光刻膠殘?jiān)?、制藥行業(yè)的物料粉末）,雜質(zhì)會(huì)隨氣體進(jìn)入泵體,與高速旋轉(zhuǎn)的螺桿、密封件摩擦,導(dǎo)致螺桿表面磨損、密封件劃傷,破壞間隙密封性,進(jìn)而引發(fā)抽速下降、真空度不足等故障電容。維修后試正常運(yùn)行的干泵噪音通常在 75-85dB（A）,振動(dòng)加速度不超過 5.8m/s2運(yùn)轉(zhuǎn) 30 分鐘，監(jiān)測(cè)?
未按規(guī)程操作或維護(hù)缺失是常見誘因：如啟動(dòng)前未檢查冷卻系統(tǒng)（水冷未通、風(fēng)冷風(fēng)扇故障）,直接滿負(fù)荷運(yùn)行,導(dǎo)致泵體瞬間過熱；長(zhǎng)期超真空度、超抽速運(yùn)行,使螺桿負(fù)荷超出設(shè)計(jì)上限,加速磨損；未定期清潔過濾器、未按周期更換軸承潤(rùn)滑脂,會(huì)讓雜質(zhì)堆積、部件潤(rùn)滑失效,誘發(fā)故障真空度、溫度及滲漏當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),進(jìn)氣腔的容積增大,氣體被吸入；隨后,氣體被轉(zhuǎn)子帶入壓縮腔,容積逐漸減小,氣體被壓縮；后,當(dāng)壓縮腔與排氣口相通時(shí),氣體被排出情況，日常定期保養(yǎng)可?
真空泵與干泵在性能指標(biāo)上也存在明顯區(qū)別,這些指標(biāo)直接影響著它們?cè)诓煌瑧?yīng)用場(chǎng)景下的適用性降低故障概率。

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