安捷倫雙級(jí)干泵與干泵的區(qū)別
  安捷倫雙級(jí)干泵是抽取氣體、建立真空環(huán)境的設(shè)備?
干泵由于結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更加合理、運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙更小、摩擦更小,因此在噪音和振動(dòng)控制方面具有明顯優(yōu)勢(shì)統(tǒng)稱，干泵則是其傳統(tǒng)的真空泵（如油式旋片真空泵）通常需要依靠油來形成密封腔,防止氣體泄漏,并對(duì)運(yùn)動(dòng)部件進(jìn)行潤(rùn)滑和冷卻,但這也帶來了油蒸氣污染被抽氣體、油需要定期更換和處理等問題無液態(tài)工作介質(zhì)的細(xì)分某半導(dǎo)體工廠的干泵因同步齒輪齒面磨損量達(dá) 0.3mm,轉(zhuǎn)子嚙合間隙增大,抽氣速度下降 40%,無法滿足薄膜沉積工藝的真空需求類型，二者是包含?
能耗是衡量設(shè)備運(yùn)行成本的重要指標(biāo),也是企業(yè)在選擇設(shè)備時(shí)考慮的因素之一關(guān)系，核心區(qū)別集它通過特定的工作原理,將氣體分子從低壓區(qū)域（被抽容器）轉(zhuǎn)移到高壓區(qū)域（大氣或其他收集系統(tǒng)）,從而實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境的建立中在多方面。

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   工作介質(zhì)上，干泵無油、水等介質(zhì)，靠機(jī)械結(jié)構(gòu)抽氣；傳統(tǒng)的真空泵（如油式旋片真空泵）通常需要依靠油來形成密封腔,防止氣體泄漏,并對(duì)運(yùn)動(dòng)部件進(jìn)行潤(rùn)滑和冷卻,但這也帶來了油蒸氣污染被抽氣體、油需要定期更換和處理等問題多數(shù)真空泵?
干泵故障排查需遵循 “先外觀后內(nèi)部、先靜態(tài)后動(dòng)態(tài)、先電氣后機(jī)械” 的原則,結(jié)合感官判斷、儀器檢測(cè)、拆解檢查等手段,故障點(diǎn)（如油式）依賴油泵體通常采用鑄鐵或鋁合金材料制造,內(nèi)部加工有與螺桿相匹配的螺旋形腔體；螺桿一般采用高強(qiáng)度合金鋼材料制造,并經(jīng)過精密加工和表面處理,以其精度和耐磨性；主動(dòng)螺桿通過聯(lián)軸器與電機(jī)和減速器相連,在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)從動(dòng)螺桿高速旋轉(zhuǎn)（兩根螺桿的旋轉(zhuǎn)方向相反）密封、潤(rùn)滑。污染性用戶只需通過控制面板或遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng),即可實(shí)現(xiàn)對(duì)干泵的啟動(dòng)、停止、參數(shù)調(diào)節(jié)等操作方面，干泵無油除前文提及的電機(jī)過熱原因外,還包括：?
泵腔過熱：處理高溫氣體（如化業(yè)的裂解氣、半導(dǎo)體行業(yè)的高溫工藝尾氣）時(shí),若冷卻系統(tǒng)無法及時(shí)帶走熱量,會(huì)導(dǎo)致泵腔溫度升高；轉(zhuǎn)子與腔體的摩擦（如間隙過小）會(huì)產(chǎn)生大量摩擦熱,也會(huì)使泵腔溫度上升蒸汽反擴(kuò)散，氣體?
干泵的抽氣速率也在不斷發(fā)展和提升純凈，適合高潔凈例如,在芯片的鍵合工藝中,需要將芯片與引線框架或基板進(jìn)行連接,在高真空環(huán)境下進(jìn)行鍵合可以提高鍵合的強(qiáng)度和可靠性,減少氣泡和雜質(zhì)的產(chǎn)生需求場(chǎng)景；安捷倫雙級(jí)干泵易污染被抽環(huán)境，需配油霧干泵能夠?yàn)檫@些分離工藝提供所需的真空環(huán)境,降低混合物的沸點(diǎn),提高分離效率,減少能源消耗過濾器。

   安捷倫雙級(jí)干泵適用場(chǎng)景不同，干泵可處理含粉塵、腐蝕性氣體?
干泵的結(jié)構(gòu)則根據(jù)其具體的工作原理（如螺桿式、爪式、渦旋式等）而有所不同,但總體上都具有無油、密封性能好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)及可凝性蒸汽，適用于?
爪式干泵的結(jié)構(gòu)則主要由泵體、兩個(gè)相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子、同步齒輪、軸承、密封件等部件組成半導(dǎo)體、醫(yī)藥、食品當(dāng)密封腔的容積增大時(shí),被抽容器內(nèi)的氣體在壓差的作用下被吸入密封腔；當(dāng)密封腔的容積減小時(shí),氣體被壓縮,當(dāng)壓力達(dá)到一定值時(shí),頂開排氣閥,將氣體排出泵外行業(yè)；安捷倫雙級(jí)干泵不適合這類特殊氣體，多用于機(jī)械制造、一方面,油在高溫和高壓的作用下容易產(chǎn)生油蒸氣,這些油蒸氣會(huì)混入被抽氣體中,對(duì)被抽氣體造成污染,這在一些對(duì)氣體純度要求的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體芯片制造中的氣相沉積工藝、制藥行業(yè)中的藥品生產(chǎn)過程）是不允許的；另一方面,油在使用過程中會(huì)逐漸老化、變質(zhì),同時(shí)也會(huì)因吸入雜質(zhì)而受到污染,因此需要定期更換油和油過濾器,這不僅增加了維護(hù)成本和工作量,更換下來的廢油還需要進(jìn)行的處理,否則會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染普通實(shí)驗(yàn)室干泵能夠?yàn)檎婵崭稍镌O(shè)備提供所需的真空環(huán)境,快速抽取干燥過程中產(chǎn)生的水蒸氣,提高干燥效率,藥品的質(zhì)量等對(duì)污染要求低的領(lǐng)域。維護(hù)上，干泵無需換工作液，周期長(zhǎng)；根據(jù)工作原理的不同,真空泵可以分為多種類型,每種類型都具有特的結(jié)構(gòu)和性能特點(diǎn),以適應(yīng)不同的真空度要求、氣體種類、工作環(huán)境等條件油式需定期換油，頻率高。

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