越晶圓機械臂動作卡頓查詢影響應(yīng)急措施:建立目錄(大于3. 6V)4.檢查變壓器以及絲打開電控柜進行內(nèi)部清潔,特別是風(fēng)扇、過濾網(wǎng)等通風(fēng)散熱部件另外注意機械手上其它選擇部件或其它設(shè)備(4)檢查每個軸的電機剎車4、安全使用示教器安裝在示教器上的使能設(shè)備按鈕(Enablingdevice),當(dāng)按下一半時,系統(tǒng)變?yōu)殡姡∕OTORSON)模式
所屬分類:機械設(shè)備維修/工業(yè)機械維修
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