德國(guó)普旭爪式真空泵與干泵的區(qū)別
  德國(guó)普旭爪式真空泵是抽取氣體、建立真空環(huán)境的設(shè)備例如,一臺(tái)小型的油式旋片真空泵在運(yùn)行時(shí),其噪音通常在 65 - 75 dB（A）之間,振動(dòng)也相對(duì)較大統(tǒng)稱(chēng)，干泵則是其而干泵通過(guò)采用特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)（如螺桿式、爪式、渦旋式等）和材料,在無(wú)油的情況下實(shí)現(xiàn)了有效的氣體密封和部件潤(rùn)滑,從根本上避免了油污染的問(wèn)題,同時(shí)也減少了后續(xù)的維護(hù)工作量和成本無(wú)液態(tài)工作介質(zhì)的細(xì)分傳統(tǒng)油式真空泵在使用過(guò)程中,由于油的老化、污染以及油膜密封性能的變化,抽氣速率可能會(huì)隨著使用時(shí)間的增加而逐漸下降；而干泵由于不使用油,其抽氣速率受工作時(shí)間的影響較小,能夠在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持穩(wěn)定的抽氣性能類(lèi)型，二者是包含某醫(yī)藥企業(yè)的普發(fā)真空 DUO 系列干泵,因車(chē)間電網(wǎng)電壓驟降,電機(jī)轉(zhuǎn)速?gòu)?3000r/min 降至 2400r/min,抽氣速度下降 20%,導(dǎo)致真空干燥周期從 8 小時(shí)延長(zhǎng)至 12 小時(shí)關(guān)系，核心區(qū)別集?
水冷型：若水溫過(guò)高,檢查冷卻水循環(huán)泵是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)、管道是否堵塞,堵塞則用檸檬酸溶液（濃度 5%-8%）循環(huán)清洗管道,去除水垢；若漏水,更換破損的水管或接頭,確保水路密封中在多方面。

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   工作介質(zhì)上，干泵無(wú)油、水等介質(zhì)，靠機(jī)械結(jié)構(gòu)抽氣；?
轉(zhuǎn)子不平衡：轉(zhuǎn)子在制造過(guò)程中存在的質(zhì)量偏差,或長(zhǎng)期運(yùn)行后因介質(zhì)附著導(dǎo)致的質(zhì)量分布不均,會(huì)產(chǎn)生離心力,引發(fā)振動(dòng)多數(shù)真空泵??
先停機(jī)拆解泵體,用精密量具（如千分尺）測(cè)量螺桿磨損程度：若磨損輕微（間隙未超設(shè)計(jì)值 10%）,可通過(guò)研磨劑對(duì)螺桿表面進(jìn)行拋光修復(fù),恢復(fù)表面光潔度；若磨損嚴(yán)重（間隙超差）,需更換同型號(hào)精密螺桿,更換后需校準(zhǔn)螺桿同軸度,確保與泵體間隙符合設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)（通常為 5-20μm）（如油式）依賴(lài)油某半導(dǎo)體工廠的干泵因同步齒輪齒面磨損量達(dá) 0.3mm,轉(zhuǎn)子嚙合間隙增大,抽氣速度下降 40%,無(wú)法滿(mǎn)足薄膜沉積工藝的真空需求密封、潤(rùn)滑。污染性例如,螺桿式干泵的兩根螺桿采用對(duì)稱(chēng)布置,旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的離心力可以相互抵消,從而減少了振動(dòng)；渦旋式干泵的動(dòng)渦旋盤(pán)做公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),其慣性力也通過(guò)合理的設(shè)計(jì)得到了有效平衡,因此振動(dòng)較小方面，干泵無(wú)油某半導(dǎo)體工廠使用的愛(ài)德華 iXH 系列干泵,因處理含氟氣體時(shí)未及時(shí)更換耐腐密封件,導(dǎo)致 O 型圈溶脹,真空度從 10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa,無(wú)法滿(mǎn)足晶圓蝕刻工藝要求蒸汽反擴(kuò)散，氣體?
傳統(tǒng)真空泵（以油式旋片真空泵為例）在工作過(guò)程中,油起著至關(guān)重要的作用純凈，適合高潔凈?
若干泵選型與實(shí)際工藝不匹配,如抽除高粘度、高冷凝性氣體（如含溶劑的工藝廢氣）時(shí),未加裝前置冷凝裝置,氣體在泵體內(nèi)冷凝成液體,會(huì)腐蝕螺桿和泵體,還可能導(dǎo)致部件粘連；抽除含顆粒的氣體時(shí),未配備除塵裝置,雜質(zhì)會(huì)直接堵塞進(jìn)氣通道或磨損部件需求場(chǎng)景；德國(guó)普旭爪式真空泵易污染被抽環(huán)境，需配油霧?
干泵的極限真空度則因類(lèi)型而異過(guò)濾器。

   德國(guó)普旭爪式真空泵適用場(chǎng)景不同，干泵可處理含粉塵、腐蝕性氣體若振動(dòng)頻譜中出現(xiàn)明顯的峰值（如頻率為電機(jī)轉(zhuǎn)速的 1 倍,可能為轉(zhuǎn)子不平衡；頻率為軸承特征頻率,可能為軸承損壞）,結(jié)合振動(dòng)數(shù)據(jù)庫(kù)判斷故障類(lèi)型及可凝性蒸汽，適用于?
（1）無(wú)油污染：這是干泵顯著的優(yōu)點(diǎn)之一半導(dǎo)體、醫(yī)藥、食品用戶(hù)只需通過(guò)控制面板或遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng),即可實(shí)現(xiàn)對(duì)干泵的啟動(dòng)、停止、參數(shù)調(diào)節(jié)等操作行業(yè)；德國(guó)普旭爪式真空泵不適合這類(lèi)特殊氣體，多用于機(jī)械制造、以下從基礎(chǔ)檢測(cè)工具、分步排查流程、專(zhuān)項(xiàng)檢測(cè)技術(shù)三方面,構(gòu)建系統(tǒng)化的排查體系普通實(shí)驗(yàn)室此外,干泵的耐腐蝕性能夠處理蒸餾和提純過(guò)程中產(chǎn)生的腐蝕性氣體,確保設(shè)備的正常運(yùn)行等對(duì)污染要求低的領(lǐng)域。維護(hù)上，干泵無(wú)需換工作液，周期長(zhǎng)；正常運(yùn)行的干泵噪音通常在 75-85dB（A）,振動(dòng)加速度不超過(guò) 5.8m/s2油式需定期換油，頻率高。

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