江蘇港閘濾波柜回收 江蘇港閘提拉式長晶爐回收
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提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅動直流伺服電機均為進口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經過嚴格的靜平衡和動平衡測試，高速旋轉下籽晶晃動小于2mm，適應半導體工藝需求。坩堝升降及旋轉部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導航、精密滾珠絲杠以及進口等功能件組合設計，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運行。浮動式翻板閥設在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補充加料進行連續(xù)拉晶。
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具體實施方式、本實施例的直拉式單晶生長爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導向裝置20;其包括設于氣流導向裝置20底部的中軸 孔2-l、設于所述中軸孔2-1兩側的一對電極孔2-2、以及設于所述中軸孔 2-1兩側并與該爐的排氣口 13相對的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過所述氣流導向裝置20的中軸孔2-1，該爐的一對電極柱15分別穿過所述電 極孔2-2，該爐的排氣口 13與氣流導向裝置20的各通氣孔2-3相連通，氣 流導向裝置20的上端部2-4設于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本發(fā)明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅動裝置和副爐室旋轉驅動裝置驅動副爐室移動，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；、當不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅動裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉旋開外部化料器，進而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對下驅動裝置進行減震，使拉晶時下驅動裝置不受外界震動影響，進而保晶棒質量。
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