從刀具材料分析，只有單晶天然金剛石能滿足上述要求。同時，經(jīng)過近十年的高速發(fā)展，金剛石刀具理論與技術(shù)已經(jīng)有了豐富積累，基本具備了研制開發(fā)上述刀具的能力。運用前述金剛石刀具超精密加工技術(shù)加工出的金剛石刀具與微型機械加工刀具的要求仍有距離，需要進一步研制開發(fā)更的加工方法。近年來開發(fā)了采用各種化學(xué)機理研磨金剛石刀具的方法，以下介紹的三種加工方法均可達(dá)到原子級加工水平。熱化學(xué)方法。熱化學(xué)方法的機理為：在溫度為8℃時，若金剛石表面與鐵接觸，金剛石晶體中的碳原子能夠擺脫自身晶格的約束，擴散到鐵晶體晶格中去。
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