臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧能氧化分解細菌、病毒內(nèi)部氧化葡萄糖所的葡萄糖氧化酶，并直接與細菌、病毒發(fā)生作用，氧化并穿透其細胞壁，破壞其細胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類和多糖等大分子聚合物，使細菌、病毒的新陳代謝和繁殖過程遭到破壞，而奪取細菌病毒的生命。同時還可以滲透細胞膜組織、侵入細胞膜內(nèi)作用于外膜脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細胞發(fā)生通透性畸變，導致細胞溶解性死亡，并將死亡菌體內(nèi)的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱源（內(nèi)毒素）等溶解死亡。綜觀無菌技術對微生物作用的原理可分為型、殺菌和溶菌型三種。臭氧滅菌消毒屬于溶菌型劑體，可以達到“、地消滅物體內(nèi)部所有微生物的目的”，不僅這樣而且它的作用是瞬間完成的。

常用的氣源按用途大體可分為下列幾種：

1）干燥氣源——空間消毒、自來水處理、游泳池水、養(yǎng)殖水、生產(chǎn)循環(huán)水、中水回用等

2） 富氧氣源——臭氧濃度需求較高的使用場所，如純凈水、礦泉水、污水處理、醫(yī)藥食品車間等

3） 工業(yè)氧氣源——純度要求較高、濃度需求較重要、小氣量應用場所等

3. 用于大型空間的消毒應用，如醫(yī)藥、食品等行業(yè)車間的殺菌消毒，一般應安裝管路分通到車間內(nèi)，使臭氧分布均勻，也有的通入中央空調(diào)風道管路，但這種方式有時會造成空調(diào)風道金屬件的腐蝕和臭氧消耗。

4. 用于水處理，則主要配置臭氧溶于水的投加裝置，一般分為曝氣式（直接曝氣或氧化塔式）、文丘里射流器式、旋渦負吸式或HICHINE泵混合式樣等幾種，以上其溶于水效率可依次提高，HICHINE泵式效率可達95%以上。

1）曝氣式：自來水、養(yǎng)殖水、生產(chǎn)循環(huán)水、生活污水、工業(yè)廢水等

2）文丘里射流式：二次供水、純凈水、礦泉水、養(yǎng)殖水冷卻、游泳池水等

3）負吸式：小水體應用

4）氣液混合泵式：小水體應用或臭氧消毒水應用

高濃度臭氧機/臭氧發(fā)生器的產(chǎn)品優(yōu)點
1、環(huán)保衛(wèi)生
臭氧殺菌消毒之后，會很快自行分解為氧氣，沒有殘留，沒有二次污染，是一種環(huán)保型殺菌消毒劑。
2、操作方便
高濃度臭氧消毒機可根據(jù)殺菌所需臭氧的濃度及時間，自動設置臭氧殺菌設備的殺菌時間，操作方便。而使用環(huán)氧乙酸、醋酸、甲醛殺菌消毒，所需的時間較長。
3、經(jīng)濟實惠
很多人認為，在食品、藥品、化妝品等產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，使用臭氧發(fā)生器殺菌消毒，要耗費較高的成本。其實，這種看法是錯誤的。臭氧消毒機使用簡單，插電即可使用，不需要復雜的操作，不需要人員來使用，這可節(jié)約用人方面的工資。
同時，使用臭氧發(fā)生器的能耗相對較小。從這幾方面來看，使用臭氧殺菌消毒，是一種經(jīng)濟實惠的殺菌方法，有利于控制生產(chǎn)成本。