一般的電熱真空無(wú)塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對(duì)流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計(jì)只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計(jì)反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計(jì)的讀數(shù)兩者相差30℃以?xún)?nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計(jì)的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門(mén)與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門(mén)封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮?dú)?，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計(jì))。

無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

按動(dòng)“加熱”開(kāi)關(guān)（加熱器通電），無(wú)塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺(tái)車(chē)烘箱溫度上升接近設(shè)定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺(tái)車(chē)烘箱進(jìn)入恒溫工作。無(wú)塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開(kāi)關(guān)，做好無(wú)塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無(wú)塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實(shí)際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無(wú)塵潔凈烤箱剛開(kāi)始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門(mén)，以利無(wú)塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無(wú)塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣門(mén)，以利于水分排出。

無(wú)塵潔凈烤箱需要使用定時(shí)器時(shí)，先將定時(shí)時(shí)間值設(shè)定好，再將定時(shí)開(kāi)關(guān)擰在“開(kāi)”的位置即可，如果需要觀察臺(tái)車(chē)烘箱的濕度，請(qǐng)按下濕度表下面的紅色開(kāi)關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進(jìn)入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應(yīng)立即停機(jī)檢查，待維修正常后使用。無(wú)塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應(yīng)放置在具有良好通風(fēng)條件的室內(nèi)，在其周?chē)豢煞胖靡兹家妆锲贰?br/>
無(wú)塵潔凈烤箱內(nèi)物品放置切勿過(guò)擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無(wú)防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機(jī)、加熱管、拉手等應(yīng)定期保養(yǎng)，清潔灰塵。要做好無(wú)塵潔凈烤箱的日常維護(hù)保養(yǎng)工作，使用、維護(hù)應(yīng)有專(zhuān)職人員進(jìn)行，保養(yǎng)時(shí)先切斷電源，安全。